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基礎信息Product information
產品名稱：同惠TONGHUI TH2695高阻表靜電計
產品型號：
更新時間：2025-11-03
產品簡介：
同惠TONGHUI TH2695高阻表靜電計應用材料特征測試：半導體、納米材料、聚合物材料、陶瓷、生物材料、橡膠、薄膜電子元器件泄漏電流和絕緣電阻測試半導體和其它器件I-V特性測量體電阻/表面電阻率測量
產品特性Product characteristics
“精"——上海市先JIN企業!
“專"——專注工業測試十六年!
“特"——德國萊茵TUV認證供應商!
“新"——注冊資本實繳壹仟萬元!實繳資金行業中居前茅!抗金融風險能力強!
同惠TONGHUI TH2695高阻表靜電計TH2695A TH2690 TH2690A TH2690H TH2691 TH2691A TH2691H應用領域
材料特征測試 半導體、納米材料、聚合物材料、介質材料、電化學材料、鐵電材料、石墨烯、陶瓷、生物材料、橡膠、薄膜、金屬、有機材料等
電子元器件泄漏電流和絕緣電阻測試：電容器、電阻器、二極管、晶體管、傳感器、TFT和CNT等類型、光電器件、納米器件、太陽能電池、開關、繼電器等
電子/非電子系統：離子束、電子束、傳感系統、粒子測量、嵌入式精密儀器等
第三代半導體材料和器件I-V特性測量
體電阻/表面電阻率測量
容性器件及材料快速充電測試
TH2690系列飛安表/皮安表/靜電計/高阻計提供了行業的測量功能。飛安表/靜電計具有0.01fA(10-17A)最小電流分辨率，可滿足大部分場景的微弱電流測量需求。高阻計內置的3000V/1500V電壓源支持測量高達3/1.5EΩ(1018Ω)的電阻。
針對不同的測試對象和測試環境，同惠還提供各種適配的附件。
與傳統的皮安表和高阻計不同，TH2690系列采用5吋彩色LCD電容觸摸屏，使操作更直觀便捷。
TH2690系列還提供多種視圖模式以便用戶觀察數據。除數字格式外，測量數據還可以轉換為直方圖及趨勢圖的形式，使用戶能即時查看測量數據的分布規律或變化趨勢。
簡要介紹
5.0英寸電容式觸摸屏
6?位測量分辨率
四種測量模式：高阻儀、電壓表、電流表、靜電計
獨立的電流和電壓測量
內置電壓源：±3000V/±1500V/±1000V
電流量程：2pA-20mA，電流分辨率達0.01fA(10-17A)
測量電阻最高達3EΩ(1018Ω)
電壓建立時間10ms以內
支持脈沖輸出，最小可設置脈寬10ms，脈寬設置分辨率1ms
可編程電壓輸出，內置多種電壓掃描波形
源-測量同步功能，同步誤差時間小于1ms
電流量程內的內阻壓降＜20μV
低至2nC量程的電荷測量
支持電壓測量達20V/1500V/3000V
溫度和濕度測量
時域視圖，捕獲瞬態信號效應和選擇指定測量數據
支持數據記錄
配置專用屏蔽測試盒
隨機附件：
三芯電源線
TH26017 USB接口電纜
TH26058C φ4插孔短路插頭（TH2695/TH2695A無）
TH26058D 連接線纜
TH26058F φ4鱷魚夾（紅黑各一個）
TH26058G φ4防電燈籠插線纜（雙頭線纜，紅黑各一根）
TH26058H 三同軸開路帽
TH26058R 連接線纜（TH2691/TH2691A/TH2695/TH2695A無）
TH26058S 高壓BNC轉鱷魚夾射頻測試線（僅TH2695/TH2695A）
TH2690_THS 溫濕度傳感器（TH2691/TH2691A無）
選件：
TH26090 電阻率測試夾具
TH26076B 屏蔽盒
TH26058J φ4接線柱
TH26058E φ4燈籠表筆（紅黑各一）
TH26058B 三同軸轉鱷魚夾電纜（1.5m）
TH26058Q 三同軸電纜
TH26058P 三軸BNC座
TH26058K BNC公頭轉TRB母頭轉接器（E1）
TH26058L BNC公頭轉TRB母頭轉接器（E2）
TH26058M BNC公頭轉TRB母頭轉接器（E3）
TH26058N TRB母頭轉TRB母頭轉接器
0.01fA的電流測量分辨率
在研究材料特性或判定器件性能時，經常需要測量fA/EΩ等極限電流、電阻，而傳統的數字萬用表（DMM）無法達到，TH2690系列飛安表/靜電計提供了行業的0.01fA電流測量分辨率及3EΩ(1018Ω)電阻測量，實現了材料測量，可滿足現在及將來的測量需求。
5000讀數/秒的數據讀取速率
量速度一般由積分設置中的積分周期決定，積分周期通常為工頻周期(PLC)的整數倍。在能夠提供充足的平均次數來避免工頻噪聲對測量的影響的前提下，積分周期顯然越短越好。
由于傳統儀器的讀取速率相對緩慢，無法捕獲到快速瞬態信號。TH2690系列數據讀取速率可達5000讀數/秒，配合波形功能，可捕獲到更精細的被測器件響應。
測試結果波形顯示
TH2690系列可以將測試結果在主界面以圖形方式實時地顯示，展示被測件（DUT）的動態特性。圖形分曲線圖和直方圖兩種。
右圖為設置界面：
1.曲線圖 (時基視圖)顯示
TH2690系列可以便捷地繪制多種曲線圖，包括I-t、V-t、R-t、Q-t和I-R等(特定的圖形顯示功能取決于所使用的產品型號)。進行敏感測量時，這種強大且全面的圖形顯示能力可使您更容易地獲取有價值的數據。
2.直方圖顯示
任何測量環境中都會存在一定的噪聲波動，因此低電平測量數據都會帶有一定的統計不確定性。傳統的處理方法是在測量結束后繪制直方圖對測量數據進行評估(通常在電腦上)。然而，如果您需要執行多次測量和測試設置調試周期，這個過程將會變得冗長。
TH2690系列具有實時的、自動標尺的直方圖顯示功能，使您能及時調試測量設置而無需在測量后再進行數據處理。直方圖顯示于測量數據之下，方便您對比直方圖上的累積數據與實時測量數據。
電壓源波形輸出
TH2690可以設定輸出單階梯波、雙階梯波、方波以及自定義列表輸出。點擊設定-源設定選項卡進行設定。設定界面分別如下：
其中方波模式支持脈沖輸出，最小可設置脈寬10ms，脈寬設置分辨率1ms。
分選功能
TH2690可以對測試結果進行判定分選。有分級（Grading）和分類（Sorting）兩種模式可選，最多可設置7個判定條件。設定界面如右圖：
其中分級（Grading）模式是指執行極限判定直到遇到失敗跳出，輸出當前失敗位，否則繼續下一個極限判定，若全部合格，則輸出最后一個合格位。
分類（Sorting）模式是指執行極限判定直到遇到合格跳出，輸出當前合格位，否則繼續下一個極限判定，若全部失敗，則輸出最后一個失敗位。
HANDLER接口定義
1,2,3為信號輸入腳，對應上圖IN1，IN2，IN3。可以改變信號定義。
4,5,6,7為信號輸出腳，對應上圖OUT4，OUT5，OUT6，OUT7。可以改變信號輸出模式。
• 錯誤信息
當儀器出現操作失誤或儀器自檢出錯等問題時，在儀器下方信息欄會報錯，點擊工具-錯誤信息圖標，在此處可查看報警信息，可根據提示進行消除錯誤。
• 專用溫濕度探頭提供更可靠的溫濕度數據
溫度和濕度是高值電阻測量中的關鍵參數。TH2690系列高阻計提供溫濕度傳感器接口，并配置了專用的溫濕度探頭。數字溫濕度探頭可用于測定溫度和濕度，提供比熱電偶更精確的溫度數據。
• 多種附件應對不同的測試環境和被測件
TH2690系列配備了多種可選附件，以適配不同的被測件，進一步提升其測試效果。主要包括電阻率測試盒和元件測試夾具。
電阻率測試盒配備多種尺寸的電極，可以用于測量不同規格材料的面電阻率和體電阻率。
元件測試夾具配備多種測試模塊，以應對貼片器件、軸向引線器件等多種封裝的測量。
標配附件
TH2690_THS 溫濕度傳感器
(TH2691/TH2691A無)
TH26058F
φ4鱷魚夾（紅黑各一個）
選件
TH26017
USB接口電纜
TH26058G
φ4防電燈籠插線纜
（雙頭線纜，紅黑各一根）
TH26058C
φ4插孔短路插頭(TH2695/TH2695A無)
TH26058H
三同軸開路帽
TH26058R
連接線纜
TH26058D
連接線纜
(TH2691/TH2691A/
TH2695/TH2695A無)
TH26058S
高壓BNC轉鱷魚夾射頻測試線
(僅TH2695/TH2695A)
TH26090
電阻率測試夾具
TH26076B
屏蔽盒
TH26058K
TH26058B
三同軸轉鱷魚夾電纜（1.5m）
TH26058N
TRB母頭轉TRB母頭
轉接器
BNC公頭轉TRB母頭轉接器
（E1/E2/E3三種型號可選）
• 電阻率測量（選件）
TH26058E
φ4燈籠表筆（紅黑各一）
TH26058P
三軸BNC座
TH26058J
φ4接線柱（紅黑各一）
TH26058Q
三同軸電纜
TH2690系列可選配TH26090選件，進行電阻率測量。
a) 方案配置
型號
TH2695/A
/TH2690/A/TH2690H
/TH2691/A/TH2691H
TH26090
名稱
飛安表/靜電計/高阻計主機
必選項
備注
?
電阻率測試盒
備注
TH2695固件升級至最新
?
b) TH26090電阻率測試盒
功能
測試電壓
測試電極
測試電流
接觸壓力
測量參數
說明
0-±1000V
Φ26mm、Φ38mm、Φ50mm（標配），共3種可選
0-10mA
≤10kg
表面電阻Rs、表面電阻率ρs、體電阻Rv、體電阻率ρv
c) 體積電阻Rv、體積電阻率ρv測量
將電壓源Vs施加到上電極，指定流經測試樣品的大電流為Im，隨后體積電阻Rv用公式Rv=Vs/Im計算。
從測試樣品流向保護電極的大電流和從上電極流向保護電極的表面電流都屬于泄露電流；然而這些電流都會進入Vs的低側，不會對用于計算Rv的電流表電流(Im)的大小造成影響。
體積電阻率ρv可用公式ρv=EAR/STHxRv計算出，其中:
EAR = Effective area 有效面積
STH = Sample thickness 樣品厚度。
d) 表面電阻Rs、表面電阻率ρs測量
將電壓源Vs施加到護環電極，在測試樣品表面上的電流從保護電極流向主電極，表面電流被指定為Im。
表面電阻Rs可用公式Rs=Vs/Im計算。
從護環流向上電極的電流是泄露電流；然而這個電流會流入Vs的低側，不會對用于計算Rv的電流表電流(Im)的大小造成影響。
表面電阻可用公式ρs=EPER/GLENxRs計算出，其中:
EPER = Effective perimeter 有效周長
GLEN = Gap length 間隔長度
技術參數
同惠TONGHUI TH2695高阻表靜電計 TH2695A TH2690 TH2690A TH2690H TH2691 TH2691A TH2691H
顯示
顯示器5.0英寸電容式觸摸彩色LCD顯示器
測量分辨率6?位
電流測量
量程精度分辨率備注
2pA ±(1%+5fA) 0.01fA適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690H / TH2691H
20pA ±(1%+5fA) 0.1fA適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690H / TH2691 / TH2691H
200pA ±(0.5%+5fA) 0.1fA適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690H / TH2691 / TH2691H
2nA ±(0.2%+50fA) 1fA適用于 所有機型
20nA ±(0.2%+3pA) 10fA適用于 所有機型
200nA ±(0.2%+5pA) 100fA適用于 所有機型
2μA ±(0.1%+50pA) 1pA適用于 所有機型
20μA ±(0.05%+500pA) 10pA適用于 所有機型
200μA ±(0.05%+5nA) 100pA適用于 所有機型
2mA ±(0.05%+50nA) 1nA適用于 所有機型
20mA ±(0.05%+500nA) 10nA適用于 所有機型
電阻測量
量程精度分辨率備注
1MΩ ±(0.135%+1Ω) 1Ω適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H
10MΩ ±(0.135%+10Ω) 10Ω適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H
100MΩ ±(0.185%+100Ω) 100Ω適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H
1GΩ ±(0.285%+1kΩ) 1kΩ適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H
10GΩ ±(0.41%+10kΩ) 10kΩ適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H
100GΩ ±(0.41%+100kΩ) 100kΩ適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H
1TΩ ±(0.45%+1MΩ) 1MΩ適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H
10TΩ ±(0.75%+10MΩ) 10MΩ適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690H
100TΩ ±(2.6%+100MΩ) 100MΩ適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690H
量程電流量程電壓源備注
1MΩ 200μA 20V適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H
10MΩ 20μA 20V適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H
100MΩ 2μA 20V適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H
1GΩ 200nA 20V適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H
10GΩ 20nA 20V適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H
100GΩ 2nA 20V適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H
1TΩ 2nA 200V適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H
10TΩ 200pA 200V適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690H
100TΩ 20pA 200V適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690H
最大測量電阻3000PΩ(1015) 1500PΩ(1015) 100PΩ 1000TΩ 1000PΩ-----
電壓測量（獨立輸入單元)
量程精度±(%+偏差)分辨率備注
2V ±(0.05%+40μV) 1μV適用于 TH2690 / TH2690A / TH2690H
20V ±(0.05%+400μV) 10μV適用于 TH2690 / TH2690A / TH2690H
150V ±(0.05%+300μV) 100μV適用于 TH2695A
300V ±(0.05%+600μV) 100μV適用于 TH2695
1500V ±(0.05%+300μV) 1mV適用于 TH2695A
3000V ±(0.05%+6mV) 1mV適用于 TH2695
輸入阻抗>200TΩ-----
電荷測量（指標在1s內有效）
量程精度分辨率備注
2nC ±(0.5%+50fC) 1fC適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H
20nC ±(0.5%+500fC) 10fC適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H
200nC ±(0.5%+5pC) 100fC適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H
2μC ±(0.5%+50pC) 1pC適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H
微弱信號檢測儀器-高阻計 飛安計 靜電計 皮安表
電壓源
量程精度±(%+偏差)分辨率最大輸出電流備注
20V ±(0.05%+2mV) 1mV ±20mA適用于 TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H
40V ±(0.05%+4mV) 1mV ±20mA適用于 TH2695
200V ±(0.05%+20mV) 1mV ±10mA適用于 TH2695A
400V ±(0.05%+40mV) 1mV ±10mA適用于 TH2695
1000V ±(0.05%+100mV) 35mV ±1mA適用于 TH2690 / TH2690A / TH2690H
1500V ±(0.05%+150mV) 1mV ±10mA適用于 TH2695A
3000V ±(0.05%+300mV) 1mV ±10mA適用于 TH2695
電壓源功能直流、掃描(單掃描、雙掃描、列表掃描)、ARB(方波)-----
溫度測量范圍及精度-40℃-10℃ 1℃-----
10℃-55℃ 0.5℃-----
55℃-80℃ 1℃-----
濕度測量范圍及精度
0-20%RH 4％-----
20-80％RH 3％-----
80-100%RH 4％-----
視圖模式儀表視圖、圖形視圖、直方圖、滾動視圖
測試端子
電壓輸入三軸BNC(TH2695/TH2695A為高壓BNC)-----
電流輸入三軸BNC
電壓輸出√-----
COMMON √
GROUND香蕉座
接口
D/A輸出±2VFS
HANDLER √
通訊接口RS232、USB DEVICE、USB HOST、LAN
傳感器輸入溫濕度-----
互鎖輸入√-----
環境溫度與濕度
使用溫濕度范圍0°C--45°C，30%--80%，無冷凝
存放溫濕度范圍-20°C--60°C，10%--90%，無冷凝
精度保證溫濕度23℃±5℃，30%-80%RH
預熱時間1小時
環境溫度變化自校準后小于±3℃
校準周期1年
一般指標
電源AC：90V-264V,50/60Hz；或DC：127V-370V
功率60W
上架尺寸215(W)×88(H)×565(D) 215(W)×88(H)×412(D)
外形尺寸235(W)×111(H)×590(D) 235(W)×111(H)×440(D)
重量5.5kg 4kg 3.5kg
尺寸/重量
TH2695
上架體積（mm）： 215(W)×88(H)×565(D)
外型體積（mm）： 235(W)×111(H)×590(D)
凈重：5.5kg
TH2695A
上架體積（mm）： 215(W)×88(H)×412(D)
外型體積（mm）： 235(W)×111(H)×440(D)
凈重：4kg
TH2690/TH2690A/TH2690H
/TH2691/TH2691A/TH2691H
上架體積（mm）： 215(W)×88(H)×412(D)
外型體積（mm）： 235(W)×111(H)×440(D)
凈重：3.5kg
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