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基礎信息Product information

產品名稱：S3022F國產2通道源表

產品型號：

更新時間：2025-11-14

產品簡介：

S3022F國產2通道源表，電壓范圍100nV到200V，電流范圍100fA到3A，其中脈沖可以到10A，最大輸出功率30W，最大采樣率1MS/s

產品特性Product characteristics

“精"——上海市先JIN企業!

“專"——專注工業測試十六年!

“特"——德國萊茵TUV認證供應商!

“新"——注冊資本實繳壹仟萬元!實繳資金行業中居前茅!抗金融風險能力強!

S3022F國產2通道源表，2通道，電壓范圍±100nV到±200V，電流范圍100fA到±3A，其中脈沖可以到±10A，最大輸出功率30W，最大采樣率1MS/s。

電壓源指標

[1]精度計算示例：測試200mV量程120mV輸出的精度，則允差為：

[2]本儀表有潛在的危險高壓(±210 V)輸出到HI /Sense HI/Guard端子，為防止電擊，在開機前必須做好相關的安全防范措施。請勿將Guard端子接到任何輸出，包括短接到機箱地或是輸出LO，否則會損壞儀表

電流源指標

1、10A 量程僅支持脈沖模式, 精度為典型值

電壓表指標

電流表指標

1、10A量程僅支持脈沖模式,精度為典型值

2、小電流測量，建議使用三同軸線纜連接：ForceHi接芯線，Guard接內屏蔽層，外屏蔽層接保護地，ForceLo接芯線，內屏蔽層不接，外屏蔽層接保護地，同軸線的額定絕緣電壓不小于250V。

電阻表指標（4 線）

脈沖源指標（4線）

脈沖源上升時間（4 線）

1, 脈沖前沿從 10%到 90% 所需的時間。

2, 脈沖達到距離最終值 1%的所需的時間。

3, 電流源測試基于 6V 電壓量程下測試，105%滿量程鉗位設定。

輸出建立時間

1、輸出轉換速率：Fast,Normal,Slow。

2、Fast 模式在不同的量程或負載條件下輸出可能會出現較大過沖，過沖敏感設備建議用 Slow 模式。

1 產品描述

S3022F國產2通道源表/測量單元是結構緊湊、經濟高效的臺式電源/測量單元(SMU)，能夠同時輸出并測量電壓和電流。這些功能使得S3022F成為既需要高分辨率，又需要高精度的各種 IV(電流與電壓)測量任務的理想選擇。S3022F 以適中的價格提供優異的性能。它擁有寬泛的電壓源(±200V)和電流源(±3A 直流和±10A 脈沖)功能，出色的精度，6位半的顯示(100fA/100nV顯示分辨率)以及彩色LCD圖形用戶界面(GUI)。

2 產品特點和優勢

量程

大電壓大電流量程：±200V、±3A(直流)、±10A(脈沖)，單臺 SMU 產品即可同時滿足高電壓和大電流測量需求， 從而推動測量儀器的標準化，并簡化資產管理和支持工作。

最小測量分辨率

最小測量分辨率可達100fA/100nV，可以使用低成本的臺式 SMU 進行低電平測量，而以前則需要使用昂貴的半導體器件分析儀。

高速測量

最高可支持1MS/s的ADC采樣率，NPLC和采樣率可選。

傳感模式

支持2線或4線（遠程傳感）連接；最大傳感引線電阻：1 kΩ（額定精度）；遠程傳感輸出端與傳感端最大電壓：2V

SWEEP模式

支持單邊和雙邊的線性，對數，列表掃描。間隔從1μs至16s可配置，單次掃描最大64K點

雙邊對數掃描

自動量程

支持單點，掃描自動量程。過沖敏感設備建議切換量程前關閉輸出再做量程切換動作。

延時測量

支持延時測量，建議用戶設置合適的SOURCE DELAY以獲得更準確的測量值。

Source Delay 設置示意圖

注意：Source delay 必須大于源建立的時間，當采樣值不準，需要考電Source delay是否合理，特別是小電流最程。

保護

支持過溫保護，當檢測到內部溫度過高時，輸出關閉，待溫度回到65度以下會恢復操作使用；

當輸出超出 OVP 設定值時關閉輸出，設備重置后可進一步操作，精度：±(1%Setting+500mV)

支持傳統和默認的 SCPI 命令

支持傳統的 SCPI 命令，并可以部分兼容較舊的 SMU 代碼(例如 Keithley 2400系列)，從而盡量減少代碼轉換工作。

5.0 英寸彩色LCD電容觸摸屏

采用5.0英寸彩色LCD電容觸摸屏，提供了簡單易用的前面板GUI，可快速輕松地在前面板上進行測量和顯示數據，顯著加速交互式測試、表征和調試操作。

軟件功能

GUI非常直觀和簡潔，無需編程即可從 PC 進行遠程測量和控制。

電源

電壓范圍：100-240VAC，頻率范圍：50/60Hz，

最大功率：250W ，保險絲規格：T3.15AH 250 VAC

預熱 1 小時

尺寸（mm） 429*441*112(含腳墊、把手及旋鈕)

重量 凈重 8 kg

標準出廠附件：電源線，USB線，網線，紅色測試線，黑色測試線，U盤（包括PDF手冊、快速測量軟件和驅動程序）。

一、三象限為源：輸出V/I的實際極性跟隨源設定；

二、四象限為負載：CC和CV配合，當負載用時，負載設定極性與源極性相反；

可測試各種設備

捕獲更多的測量數據

? 6 位半的數字分辨率: 精度相當于6 位半數字萬用表；

? 100 fA / 100 nV分辨率: 設置與測量靈敏度；

? 1M點/秒: 提供高速測量，可以快速設置/數字化率于任意波形發生器/列表掃描；

豐富的掃描功能

S3022F兩通道源表雙通道精密源表

電壓源指標

電壓設置精度

量程設置分辨率精度(1 年)±(%讀數+ 偏置)典型噪聲(有效值)0.1 Hz-10 Hz

±200 V1 mV0.02%+30 mV1.5 mV

±20 V100 μV0.02%+2 mV160 μV

±6 V50 μV0.02%+500 μV36 μV

±200 mV1 μV0.02%+120 μV4 μV

溫度系數±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

單通道最大輸出功率30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A

設置時間<800μs(典型值)

過沖<±0.1% (典型值，Normal,步進是范圍的 10% 至 90%，滿量程點，電阻性負載測試)

噪聲 10Hz-20MHz6V 電壓源，3A 電阻負載，<3 mVrms

[1]精度計算示例：測試200mV量程120mV輸出的精度，則允差為：

[2]本儀表有潛在的危險高壓(±210 V)輸出到HI /Sense HI/Guard端子，為防止電擊，在開機前必須做好相關的安全防范措施。請勿將Guard端子接到任何輸出，包括短接到機箱地或是輸出LO，否則會損壞儀表

電流源指標

電流設置精度

量程設置分辨率精度(1 年)±(% 讀數+偏置)典型噪聲(有效值)0.1 Hz-10 Hz

±10 A150 μA0.4% + 40 mANA

±3 A15 μA0.05% + 2 mA40 μA

±1.5 A10 μA0.02% + 500 μA20 μA

±150 mA1 μA0.02% + 25 μA5 μA

±15 mA100 nA0.02% + 6 μA700 nA

±1.5 mA10 nA0.02% + 250 nA16 nA

±150 μA1 nA0.02% + 25 nA21 nA

±15 μA100 pA0.02% + 3 nA140 pA

±1.5 μA10 pA0.03% + 450 pA25 pA

±150 nA1 pA0.05%+250 pA5 pA

溫度系數±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

單通道最大輸出功率30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A

設置時間<500 μs(典型值)

過沖<±0.1% (典型值，Normal,步進是范圍的 10% 至 90%，滿量程點，電阻性負載測試)

1、10A 量程僅支持脈沖模式, 精度為典型值

電壓表指標

電壓測量精度

量程顯示分辨率精度(1 年) ±(% 讀數+偏置)

±200 V100 μV0.02% + 30 mV

±20 V10 μV0.02% + 2 mV

±6 V1 μV0.02% + 500 μV

±200 mV100 nV0.02% + 120 μV

溫度系數±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

電流表指標

電流測量精度

量程顯示分辨率精度(1 年) ±(% 讀數+偏置)

±10 A110 μA0.4% + 25 mA

±3 A10 μA0.05% + 2 mA

±1.5 A1 μA0.02% + 500 μA

±150 mA100 nA0.02% + 25 μA

±15 mA10 nA0.02% + 6 μA

±1.5 mA1 nA0.02% + 250 nA

±150 μA100 pA0.02% + 25 nA

±15 μA10 pA0.02% + 3 nA

±1.5 μA21 pA0.03% + 450 pA

±150 nA2100 fA0.05% + 250 pA

溫度系數±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

1、10A量程僅支持脈沖模式,精度為典型值

2、小電流測量，建議使用三同軸線纜連接：ForceHi接芯線，Guard接內屏蔽層，外屏蔽層接保護地，ForceLo接芯線，內屏蔽層不接，外屏蔽層接保護地，同軸線的額定絕緣電壓不小于250V。

電阻表指標（4 線）

電阻測量精度

量程顯示分辨率默認測量電流典型精度(1 年)

±(% 讀數+偏置)

1 Ω1 μΩ1.5 A0.073% +0.3334 mΩ

10 Ω10 μΩ150 mA0.057% + 3.334 mΩ

100 Ω100 μΩ15 mA0.08% + 33.34 mΩ

1 kΩ1 mΩ1.5 mA0.057% + 333. 4 mΩ

10 kΩ10 mΩ150 μA0.057% + 3.334 Ω

100 kΩ100 mΩ15 μA0.06% + 33.34 Ω

1 MΩ1 Ω1.5 μA0.06% + 333.4 Ω

10 MΩ10 Ω0.15 μA0.35% + 3.334 kΩ

100 MΩ100 Ω0.05 μA0.95% + 10 kΩ

溫度系數±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

手動電流源電阻測量（四線）總體誤差=測量電壓/電流源設定電流=電阻讀數x(電壓源量程的增益誤差百分比+電流表量程的增益誤差百分比+電流源量程偏置誤差/設定電流)+(電壓源量程偏置誤差/設定電流值) 示例：電流源設定電流=1.5A 電壓測量量程=6V 總體誤差=(0.02%+0.02%+500μA/1.5A)+(500μV/1.5A) 0.073%+0.3334mΩ

脈沖源指標（4線）

最小可編程脈寬100 μs

脈寬編程分辨率1 μs

脈寬編程精度±10 μs

脈寬抖動2 μs

脈沖寬度定義如下圖所示，從 10 % 前沿到 90 % 后沿的時間

脈沖技術指標最大電流限制最大脈沖寬度最大占空比

10.15 A/200 VDC,無限制100%

21.5 A/20 VDC,無限制100%

33 A/6 VDC,無限制100%

43 A/20 V1 ms10%

510 A/6 V1 ms10%

脈沖源上升時間（4 線）

輸出量程典型上升時間 1,3典型穩定時間 2,3測試負載

電壓源

200 V600 μs1.5 ms空載

20 V200 μs360 μs空載

6 V160 μs300 μs空載

電流源

10 A140 μs320 μs滿載

3 A120 μs280 μs滿載

1.5 A120 μs280 μs滿載

150 mA120 μs280 μs滿載

15 mA120 μS280 μs滿載

1.5 mA120 μS280 μs滿載

1, 脈沖前沿從 10%到 90% 所需的時間。

2, 脈沖達到距離最終值 1%的所需的時間。

3, 電流源測試基于 6V 電壓量程下測試，105%滿量程鉗位設定。

I-V 輸出能力

輸出建立時間

輸出

量程

典型輸出建立時間

測試條件

Fast 1,2Normal 1Slow1

電壓源

200 V<1.3 ms<1.5 ms<2.5 ms

在開路負載條件下，達到距離最終值 0.1% 以內所需的時間。

步進是范圍 10% 至90%。

20 V<300 μs<360 μs<1 ms

6 V<150 μs<250 μs<1 ms

200 mV<200 μs<250 μs<1 ms

電流源

3 A<200 μs<280 μs<1.2 ms

滿載條件下，達到距離最終值0.1%以內(對于3A范圍，為0.3%)所需的時間。

步進是范圍的10%至90%。6V電壓量程，105%滿量程鉗位設定。

1.5 A<200 μs<280 μs<1.2 ms

150 mA<200 μs<280 μs<1.2 ms

15 mA<200 μs<280 μs<1.2 ms

1.5 mA<200 μs<280 μs<1.2 ms

150 μA<250 μs<300 μs<1.2 ms

15 μA<250 μs<1.2 ms<2 ms

1.5 μA<600 μs<1.2 ms<5 ms

150 nA<600 μs<5 ms<12 ms

1、輸出轉換速率：Fast,Normal,Slow。

2、Fast 模式在不同的量程或負載條件下輸出可能會出現較大過沖，過沖敏感設備建議用 Slow 模式。